HVA 真空阀门用在气体管路系统

添加人：叶女士 发布时间：2023/8/29 10:52:11 来源：伯东企业（上海）有限公司

某半导体工厂在生产线上气体输送环节的气体管路系统采用伯东 HVA 不锈钢真空闸阀 11000 ，作为真空隔离密封.

美国HVA真空闸阀 

 

HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格: 

 阀门材质:

 - 阀门主体

 304 不锈钢

 - 焊接波纹管轴封

 AM - 350

 阀门密封方式

 - 高真空

 氟橡胶

 - 超高真空

 铜垫圈 / 氟橡胶

 真空:

 - 压力范围

 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差压关闭

 1 bar ( 任意位置 )

 - 开启前最大压力

 ≤ 30 mbar

 烘烤温度（不含电磁阀）:

 - 弹性体密封阀盖

 150°C

 - 金属密封阀盖

-开启温度：200°C

-关闭值：150°C

 - 驱动方式

 手动 60 °c, 气动 60 °c

机制

手动：

手摇曲柄

电磁阀供电电压

 120 VAC 50 /60 Hz

电磁阀可选电压

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 电磁阀位置指示器,最大

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

气动送风：

80 psig

 使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)

 公称通径: DN 16 - 800 mm

  

HVA 是真空技术创新者的真空阀门(插板阀), 是高真空阀门的主要制造商和供应商.

 

在设计真空系统时, 可以轻松集成 HVA 阀门. HVA 闸阀从5/8英寸（16毫米）到32英寸（800毫米）, 而矩形/狭缝阀的最大距离为80英寸（2m）, 可以满足您的真空阀门(插板阀)要求. 无论您是升级现有的真空系统还是 OEM 设计新的系统, HVA 都可以提供经济高效的替代阀门解决方案.

 

HVA 真空阀门(插板阀)的阀体和所有主要内部组件都是内部钎焊的真空炉, 消除了虚拟泄漏的可能性, 阀体变形最小化.

 

40多年来, HVA 一直在建造业内质量最高, 设计最好的真空阀门(插板阀). HVA 代表着质量, 工程, 定制和服务.

 

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