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简要说明： INFICON公司的QS5型真空泵回收速率快，经久耐用。 | |
| 详细介绍： QS5为双级旋片真空泵，抽速为5CFM（立方英尺/分）。极限真空度克可达到15MICRON(微米汞柱)。具有大的油窗，易操作的排油口以及创新技术的防油阀，使用起来更加简单高效。 |
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